真空蒸发镀膜的形成机理有电阻蒸发镀,电子束蒸发镀,高频感应加热蒸发镀,电弧加热蒸发镀,共四种,电弧加热蒸发镀具有可以避免电阻加热材料或坩埚材料的污染,加热温度较高的特点。
真空蒸发镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜,或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。蒸发热力学液相或固相的镀料原子或分子要从其表面逃逸出来,必须获得足够的热能,有足够大的热运动。
时间: 2024-08-27 19:26:29
真空蒸发镀膜的形成机理有电阻蒸发镀,电子束蒸发镀,高频感应加热蒸发镀,电弧加热蒸发镀,共四种,电弧加热蒸发镀具有可以避免电阻加热材料或坩埚材料的污染,加热温度较高的特点。
真空蒸发镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜,或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。蒸发热力学液相或固相的镀料原子或分子要从其表面逃逸出来,必须获得足够的热能,有足够大的热运动。